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J-GLOBAL ID：201602224688651553   Reference number：16A0571243

Fabrication of a poly(dimethylsiloxane) microstructured surface imprinted from patterned silicon wafer with a self-cleaning property

自己洗浄性を有するパターン化されたシリコンウェハからインプリントされたポリジメチルシロキサンの微細構造化表面の製作

Author (8)： TAMESUE Shingo (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  TAKAHASHI Eri (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  KOSUGI Shunsuke (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  FUKAMI Kazuhiro (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MITSUMATA Tetsu (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  TSUBOKAWA Norio (Niigata Univ., Niigata, JPN) ,  SAKKA Tetsuo (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YAMAUCHI Takeshi (Niigata Univ., Niigata, JPN)
Material： Polymer Journal
Volume： 48  Issue： 7  Page： 835-838  Publication year： Jul. 2016 
JST Material Number： F0612A  ISSN： 0032-3896  CODEN： POLJB8  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Germany, Federal Republic of (DEU)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *wafer ,  *silicon ,  *lithography ,  pattern formation ,  compression forming ,  *polydimethylsiloxane ,  *micro structure ,  *self purification ,  porosity (property) ,  *surface structure ,  surface quality ,  surface analysis ,  crystal growth ,  template effect ,  fine patterning ,  contact angle ,  surface energy ,  lattice model ,  *Si wafer ,  micro pattern ,  *structure
Semi thesaurus term： *imprint lithography ,  *self-cleaning ,  contamination resistance ,  microrod ,  Baxter model

JST classification (3)： Structure and morphology of polymer solids  (CG02022M) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Organosilicon compounds  (CF08030C)

Reference (20)：

• Nie, Z. & Kumacheca, E. Patterning surfaces with functional polymers. Nat. Mater. 7, 277-288 (2008).
• Zdyrko, B., Klep, V. & Luzinov, I. Universal platform for surface modification employing grafted polymer layers. Mater. Matt. 3, 44 (2008).
• Nagata, H., Ko, S. W., Randall, C. A. & Trolier-McKinstry, S. Microcontact printed BaTiO₃ and LaNiO₃ thin films for capacitors. J. Am. Ceram. Soc. 89, 2816-2821 (2006).
• Kesong, L. & Lei, J. Bio-inspired design of multiscale structures for function integration. Nano Today 161, 155-175 (2011).
• Hansen, W. R. & Autumn, K. Evidence for self-cleaning in gecko setae. Proc. Natl Acad. Sci. USA 102, 385-389 (2005).

Terms in the title (5)： 自己洗浄 ,  シリコンウェハ ,  ポリジメチルシロキサン ,  微細構造 ,  製作