Art

J-GLOBAL ID：201602226969161450   Reference number：16A0941713

有機無機ハイブリッド材料研究開発のためのコンビナトリアル分子層積層製膜システム

Author (12)： KAWASHIMA KAZUHIRO (コメット) ,  OKAMOTO YUJI (筑波大) ,  SUZUKI YOSHIKAZU (筑波大) ,  ITAKA KENJI (弘前大) ,  MATSUKI NOBUYUKI (神奈川大) ,  SUMIYA MASATOMO (NIMS) ,  NAGASAWA HARUO (コメット) ,  SATO TOSHIHIRO (コメット) ,  SUZUKI SETSU (コメット) ,  KOINUMA HIDEOMI (コメット) ,  KOINUMA HIDEOMI (筑波大) ,  KOINUMA HIDEOMI (NIMS)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 77th  Page： ROMBUNNO.15p-A41-14  Publication year： Sep. 01, 2016 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *hybrid composite material ,  inorganic material ,  organic material ,  research and development ,  *combinatorial chemistry ,  laminate structure ,  feedback control ,  PID action ,  PID control ,  *organic-inorganic hybrid composite
Semi thesaurus term： *organic-inorganic hybrid material

JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (5)： 有機無機ハイブリッド材料 ,  研究 ,  開発 ,  分子 ,  製膜