Art

J-GLOBAL ID：201602227000808280   Reference number：16A1199204

Cantilever based energy harvesters using Mg-Zr-codoped aluminum nitride with high piezoelectricity

高い圧電性を有するMg-Zr共ドープ窒化アルミニウムを用いたカンチレバー形振動発電素子

Author (6)： MINH Le Van (Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN) ,  HARA Motoaki (Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN) ,  YOKOYAMA Tsuyoshi (Taiyo Yuden Co., Ltd., Akashi-shi, JPN) ,  NISHIHARA Tokihiro (Taiyo Yuden Co., Ltd., Akashi-shi, JPN) ,  UEDA Masanori (Taiyo Yuden Mobile Technol. Co., Ltd., Ome-shi, JPN) ,  KUWANO Hiroki (Tohoku Univ., Sendai-shi, JPN)
Material： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
Volume： 7th  Page： ROMBUNNO.29pm3-PN-37  Publication year： Oct. 21, 2015 
JST Material Number： L8358B  ISSN： 2432-9495  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： material ,  thin film ,  *vibrational energy ,  energy conversion ,  *MEMS ,  *Magnesium ,  *Zirconium ,  *doping ,  *aluminum nitride ,  *cantilever beam ,  *power generation ,  piezoelectric material ,  energy density ,  X-Ray Diffraction ,  scanning electron microscope ,  electron microscopy ,  oscillation generation ,  co-doping
Semi thesaurus term： Lead-free material ,  piezoelectric thin film ,  vibration energy harvesting ,  co-doping ,  microcantilever

JST classification (2)： Other power generations  (NB03140M) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 圧電性 ,  Mg ,  Zr ,  ドープ ,  窒化アルミニウム ,  カンチレバー ,  振動発電素子