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J-GLOBAL ID：201602227557911813   Reference number：16A0412940

小径基板洗浄機『Ecclear(エクリア)』

Author (4)： SAKAMOTO MASATAKA (並木精密宝石 NJC技研) ,  AOTA NATSUKO (並木精密宝石 NJC技研) ,  ISHIDA YUSO (並木精密宝石 NJC技研) ,  AIDA HIDEO (並木精密宝石 NJC技研)
Material： 産業洗浄  (Industrial Cleaning)
Issue： 17  Page： 15-19  Publication year： Apr. 15, 2016 
JST Material Number： L7969A  ISSN： 2188-8388  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *small diameter ,  *cleaning device ,  *substrate(plate) ,  cleaning(washing) ,  drying ,  solution(liquid) ,  air ,  blowing(injection) ,  finishing ,  spin ,  particle ,  adhesion(surface chemistry) ,  eccentricity
Semi thesaurus term： *small diameter ,  *cleaning device ,  rinse ,  air ,  blowing ,  sapphire substrate ,  particle ,  reattachment

JST classification (2)： Dust collection  (XD02100D) ,  Finishing  (YM06030F)

Reference (1)：

• 坂本昌隆、青田奈津子、石田悠宗、會田英雄;第146回プラナリゼーションCMP委員会研究会資料(2015)p.23-27.

Terms in the title (2)： 小径 ,  基板洗浄