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J-GLOBAL ID：201602240186828438   Reference number：16A1199193

ターボ翼の微細加工が排気性能に及ぼす影響

Author (1)： YABUKI MASUHISA (鶴岡工高専)
Material： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム(CD-ROM))
Volume： 7th  Page： ROMBUNNO.29pm3-PN-15  Publication year： Oct. 21, 2015 
JST Material Number： L8358B  ISSN： 2432-9495  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *molecular pump ,  *fine patterning ,  *molecular flow ,  *compression ratio ,  wing profile ,  morphology (form) ,  characteristic ,  *exhaust ,  Monte Carlo Method ,  inhalation ,  incidence ,  emission ,  flat plate aerofoil ,  optimum shape ,  exhaust characteristic ,  delivery ,  turbine blade ,  *turbo molecular pump ,  *action and behavior
Semi thesaurus term： turbine blade ,  *turbo molecular pump

JST classification (1)： Vacuum pumps  (QD04030I)

Terms in the title (3)： 翼 ,  微細加工 ,  排気