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J-GLOBAL ID：201602252635681778   Reference number：16A0689005

Active voltage contrast imaging of cross-sectional surface of multilayer ceramic capacitor using helium ion microscopy

ヘリウムイオン顕微鏡を用いた多層セラミックキャパシタの断面の活性電圧コントラストイメージング

Author (7)： Sakai C. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Ishida N. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Masuda H. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Nagano S. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Kitahara M. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan) ,  Ogata Y. (TAIYO YUDEN CO., LTD., Takasaki-shi, Gunma 370-3347, Japan) ,  Fujita D. (National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 109  Issue： 5  Page： 051603-051603-4  Publication year： Aug. 01, 2016 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： We studied active voltage cont...

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Thesaurus term： *ceramic condenser ,  *multistory structure ,  *cross section(face) ,  electron ,  *image processing ,  *nickel ,  electrode ,  *barium titanate ,  dielectrics ,  force microscope ,  *contact potential difference
Semi thesaurus term： *ceramic capacitor ,  secondary electron ,  *imaging ,  *BaTiO3 ,  Kelvin probe force microscope

JST classification (4)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Oxide thin films  (BK14050P) ,  Metal-insulator-metal structures  (BM03087F) ,  Electrical properties of interfaces in general  (BM03081H)

Terms in the title (7)： ヘリウム ,  イオン顕微鏡 ,  多層 ,  セラミックキャパシタ ,  活性 ,  コントラスト ,  イメージング