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J-GLOBAL ID：201602254161830001   Reference number：16A0651870

Proposal of Physics-Based Equivalent Circuit of Pseudo-MOS Capacitor Structure for Impedance Spectroscopy

インピーダンス分光法のための擬似MOSキャパシタ構造の物理学ベースの等価回路の提案【Powered by NICT】

Author (3)： Yarita Isao (Faculty of Engineering Science, Kansai University, Osaka, Japan) ,  Sato Shingo (Faculty of Engineering Science, Kansai University, Osaka, Japan) ,  Omura Yasuhisa (Faculty of Engineering Science, Kansai University, Osaka, Japan)
Material： IEEE Journal of the Electron Devices Society  (IEEE J Electron Divices Soc)
Volume： 4  Issue： 4  Page： 169-173  Publication year： 2016 
JST Material Number： W2429A  ISSN： 2168-6734  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： This paper proposes a detailed...

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Thesaurus term： insulating material ,  *condenser(capacitor) ,  simulation ,  contact resistance ,  frequency(Hz) ,  *equivalent circuit ,  insulator
Semi thesaurus term： シリコンウエハ ,  界面トラップ ,  *MOSコンデンサ ,  *インピーダンス分光法 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Signal theory  (ND02020G)

Terms in the title (6)： インピーダンス分光法 ,  擬似 ,  MOSキャパシタ ,  物理学 ,  等価回路 ,  提案