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J-GLOBAL ID：201602262349873940   Reference number：16A1305751

直動転がり案内を用いたリニアモータ駆動による超精密位置決め サブミリ~ナノメートル変位領域の摩擦挙動

Author (5)： TANAKA TOSHIHARU (豊田工業高等専門学校) ,  ADACHI KAZUKI (豊田工業高等専門学校) ,  OIWA TAKAAKI (静岡大学工学部) ,  KOTANI AKIRA (豊田工業高等専門学校) ,  OTSUKA JIRO
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 82  Issue： 10  Page： 881-887(J-STAGE)  Publication year： 2016 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： guide apparatus ,  machine element ,  drive ,  *linear motor ,  *positioning ,  accuracy ,  displacement(transfer) ,  amplitude ,  *sliding friction
Semi thesaurus term： rolling guide ,  linear motor drive ,  ultra-precision

Author keywords (10)： linear motion ball bearing ,  linear motor ,  ultra-precision positioning ,  feed velocity ,  nonlinear spring behavior ,  linear motion ball bearing ,  linear motor ,  ultra-precision positioning ,  feed velocity ,  nonlinear spring behavior

JST classification (3)： Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Motors  (NB07030U)

Reference (18)：

• 1) Takaaki OIWA and Masahide KATSUKI: Survey of Questionnaire on Ultra-precision Positioning, Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 81, 10(2015)904.(in Japanese)
• 2) J.Otsuka, I.Aoki and T.Ishikawa: A Study on Nonlinear Spring Behavior of Rolling Elements(1st Report), Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 66, 6(2000)944. (in Japanese)
• 3) R.Sato, M.Tsutsumi and D.Imaki: Experimental Evaluation on the Friction Characteristics of Linear Ball Guides, J. Jpn. Soc. Mech. Eng.(C), 73, 734(2007)2811. (in Japanese)
• 4) S.Fukada, S.Naruse and T.Matsumoto: Studies on Microscopic Behavior of Ball Screw(1st Report), Journal of the Japan Society for Precision Engineering, 66, 7(2000)1070. (in Japanese)
• 5) J.Otsuka and T.Masuda: The Influence of Nonlinear Spring Behavior of Rolling Elements on Ultraprecision Positioning Control Systems, Nanotechnology, 9(1998)85.

Terms in the title (8)： 直動 ,  転がり案内 ,  リニアモータ駆動 ,  精密位置決め ,  サブ ,  変位 ,  摩擦 ,  挙動