Art

J-GLOBAL ID：201602262716949726   Reference number：16A0753957

Dislocation in heteroepitaxial diamond visualized by hydrogen plasma etching

水素プラズマエッチングによって視覚化したヘテロエピタキシャル・ダイヤモンドの転位

Author (4)： Ichikawa K. (Department of Electrical Engineering and Electronics, Aoyama Gakuin University, Sagamihara 229-0206, Japan) ,  Kodama H. (Department of Electrical Engineering and Electronics, Aoyama Gakuin University, Sagamihara 229-0206, Japan) ,  Suzuki K. (TOPLAS ENGINEERING Co., Ltd., Chofu, Tokyo 182-0006, Japan) ,  Sawabe A. (Department of Electrical Engineering and Electronics, Aoyama Gakuin University, Sagamihara 229-0206, Japan)
Material： Thin Solid Films
Volume： 600  Page： 142-145  Publication year： Feb. 01, 2016 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： plasma etching ,  hydrogen ,  visualization ,  heteroepitaxy ,  *diamond ,  *transmission electron microscope ,  threading dislocation ,  correlation

Author keywords (6)： Diamond ,  Heteroepitaxial growth ,  Chemical vapor deposition ,  Dislocation ,  Etch pit method ,  Transmission electron microscopy

JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (4)： 水素プラズマ ,  エッチング ,  視覚化 ,  転位