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J-GLOBAL ID：201602271774750624   Reference number：16A1196628

光路差がランダムに変動する状況下での波長シフト干渉計を用いた粗面の3次元形状計測

Author (2)： ADACHI MASAAKI (金沢大学理工研究域) ,  SASAKI YURI (金沢大学大学院自然科学研究科)
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 82  Issue： 4  Page： 384-389(J-STAGE)  Publication year： 2016 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： fluctuation and variation ,  rough surface ,  shape measurement ,  *interferometer ,  industrial product ,  *semiconductor laser ,  high-resolution ,  *camera ,  measurement accuracy ,  *optical path difference ,  high accuracy ,  level difference ,  reflected light ,  *3D shape measurement
Semi thesaurus term： shape measurement ,  measurement principle ,  *three-dimensional shape measurement ,  *wavelength shift ,  tunable wavelength

Author keywords (10)： 3D shape ,  speckle interferometer ,  phase extraction ,  random shift ,  vertical vibration ,  3D shape ,  speckle interferometer ,  phase extraction ,  random shift ,  vertical vibration

JST classification (1)： Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Reference (10)：

• 1) キーエンス,デジタルマイクロスコープ,Depth from Defocus法.
• 2) 石原満宏,佐々木博美:非走査マルチビーム共焦点撮像系による高速三次元計測,精密工学会誌,64,7 (1988) 1022.
• 3) 超短パルス光が発射されてから反射して戻るまでの時間差から距離を計測する手法.高速応答電子デバイスのバンド幅が精度を決める.
• 4) S. Kuwamura, I. Yamaguchi, Wavelength scanning profilometry for real-time surface shape measurement, Appl. Opt., 36, 19 (1997) 4473.
• 5) 独創的シーズ展開事業委託開発「超長距離高精度光学式距離計」,JST 科学技術振興機構報,第334号,平成18年9月7日.

Terms in the title (6)： 光路差 ,  状況 ,  波長シフト ,  干渉計 ,  粗面 ,  3次元形状計測