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J-GLOBAL ID：201603001322096051

ワーク浮上装置

Inventor： 吉本 成香 ,  津野 洋明 ,  杣谷 啓
Applicant, Patent owner： 吉本 成香 ,  津野 洋明 ,  杣谷 啓
Agent (1)： 津野 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015236782
Publication number (International publication number)：2016033422
Application date： Dec. 03, 2015
Publication date： Mar. 10, 2016
Summary：

【課題】給気口の上方近傍の気圧と排気口の上方近傍の気圧との互い与える影響を小さくしてワークの浮上量を高精度で調整するワーク浮上装置を提供すること。【解決手段】ワーク浮上装置100のベース面111とワークWとの間に介在させてワークWを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構Aを介して調整するワーク浮上装置100において、ベース面111が、ベース面111とワークWとの間に気体を送る複数の給気口111bと、ベース面111とワークWとの間から気体を除き去る複数の排気口111cと、ベース面上の給気口111bと排気口111cとの間に配設された溝部111aとを有していることを特徴とするワーク浮上装置100。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ワーク浮上装置のベース面とワークとの間に介在させてワークを浮上させる気体の気体量を気体絞り機構を介して調整するワーク浮上装置において、 前記ベース面が、前記ベース面とワークとの間に気体を送る複数の給気口と前記ベース面とワークとの間から気体を除き去る複数の排気口と前記ベース面上の給気口と排気口との間に配設された複数の溝部とを有していることを特徴とするワーク浮上装置。

IPC (2)：

F16C 32/06 ,  F16C 29/02

FI (2)：

F16C32/06 A ,  F16C29/02

F-Term (25)：

3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA03 ,  3J102CA32 ,  3J102EA02 ,  3J102EA13 ,  3J102EA18 ,  3J102EA22 ,  3J102EA23 ,  3J102EA29 ,  3J102EA30 ,  3J102EB07 ,  3J102FA04 ,  3J102FA08 ,  3J102FA30 ,  3J102GA01 ,  3J104AA52 ,  3J104AA65 ,  3J104AA76 ,  3J104BA52 ,  3J104BA80 ,  3J104CA14 ,  3J104CA34 ,  3J104DA13 ,  3J104EA02