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J-GLOBAL ID：201603003802625006

解析装置

Inventor： 五十嵐 敏
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 日向寺 雅彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014184357
Publication number (International publication number)：2016057187
Application date： Sep. 10, 2014
Publication date： Apr. 21, 2016
Summary：

【課題】半導体素子や液晶表示装置等の不良解析を効率的に行うことができる解析装置を提供する。【解決手段】解析装置11は、被測定試料12の内部を表すデータを取得する取得部と、前記データに基づいて、前記被測定試料の不良の位置を特定する特定部と、前記被測定試料の表面のうち、前記不良の位置に対応する位置に目印を付けるマーキング部20と、を備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被測定試料の内部を表すデータを取得する取得部と、 前記データに基づいて、前記被測定試料の不良の位置を特定する特定部と、 前記被測定試料の表面のうち、前記不良の位置に対応する位置に目印を付けるマーキング部と、 を備えた解析装置。

IPC (4)：

G01N 23/04 ,  G01R 31/28 ,  G01N 29/06 ,  G01N 25/72

FI (4)：

G01N23/04 ,  G01R31/28 Z ,  G01N29/06 ,  G01N25/72 Z

F-Term (40)：

2G001AA01 ,  2G001AA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA20 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA16 ,  2G001HA07 ,  2G001KA05 ,  2G001LA11 ,  2G040AA05 ,  2G040AB19 ,  2G040BA18 ,  2G040BA26 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA06 ,  2G040DA15 ,  2G040EA02 ,  2G040EA06 ,  2G040EC02 ,  2G040HA02 ,  2G040HA05 ,  2G040ZA01 ,  2G047AA05 ,  2G047BA03 ,  2G047BB06 ,  2G047BC09 ,  2G047CA01 ,  2G132AD01 ,  2G132AD18 ,  2G132AE04 ,  2G132AE14 ,  2G132AE16 ,  2G132AF11 ,  2G132AK00 ,  2G132AL09 ,  2G132AL12