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J-GLOBAL ID：201603005758689835

荷電粒子線装置、及び収差補正方法

Inventor： 秋間 学尚 ,  吉田 高穂
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (3)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012202216
Publication number (International publication number)：2014056788
Patent number：5836232
Application date： Sep. 14, 2012
Publication date： Mar. 27, 2014
Claim (excerpt)：

【請求項1】 荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を試料に対して照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記荷電粒子光学系及び前記収差補正器を制御する制御部と、を備えた荷電粒子線装置において、 前記荷電粒子光学系の焦点位置を変化させたロンチグラムを複数取得するスルーフォーカス撮影部と、 前記取得されたロンチグラムを複数の局所領域に分割し、前記局所領域にて検出されたラインフォーカスに基づいて収差量を算出する収差量算出部と、を有することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3)：

H01J 37/153 ( 200 6.01) ,  H01J 37/28 ( 200 6.01) ,  H01J 37/22 ( 200 6.01)

FI (3)：

H01J 37/153 A ,  H01J 37/28 C ,  H01J 37/22 501 Z