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J-GLOBAL ID：201603006382467727

ZnO系透明導電膜

Inventor： 山本 哲也 ,  野本 淳一 ,  中田 邦彦
Applicant, Patent owner： 住友化学株式会社
Agent (1)： 清原 義博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015012806
Publication number (International publication number)：2016138303
Application date： Jan. 26, 2015
Publication date： Aug. 04, 2016
Summary：

【課題】耐熱性に優れ、かつ高いホール移動度を呈するZnO系透明導電膜において、チタン含有量を減少させても成長面が変わらずに高いホール移動度を呈するZnO系透明導電膜を提供する。【解決手段】透明基板上に成膜されたチタン(Ti)が添加されたZnO系透明導電膜であって、前記ZnO系透明導電膜は、XRDパターンにおいてZnO(酸化亜鉛)結晶における(0002)面の格子面のみが成長したことを特徴とするZnO系透明導電膜である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

透明基板上に成膜されたチタン(Ti)が添加されたZnO系透明導電膜であって、 前記ZnO系透明導電膜は、 XRDパターンにおいてZnO結晶における(0002)面の格子面のみが成長した ことを特徴とするZnO系透明導電膜。

IPC (3)：

C23C 14/08 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/022

FI (3)：

C23C14/08 C ,  H01B5/14 A ,  H01L31/04 266

F-Term (17)：

4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA49 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  5F151FA02 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10