Pat

J-GLOBAL ID：201603007592631801

検査装置、検査方法および検査プログラム

Inventor： 野口 健二 ,  鈴木 大介 ,  浅井 律雄 ,  村越 貴行 ,  寺本 篤司
Applicant, Patent owner： 名古屋電機工業株式会社
Agent (2)： Knowledge Partners 特許業務法人 ,  岩上 渉
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012006057
Publication number (International publication number)：2013145197
Patent number：5851254
Application date： Jan. 16, 2012
Publication date： Jul. 25, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】 第1直線方向と長手方向とが一致するラインセンサを前記第1直線に沿って移動させるラインセンサ移動手段と、 前記第1直線と同一平面上にない第2直線であって、前記第1直線に交わるように平行移動させた場合に前記第1直線と直交する第2直線に沿って、前記ラインセンサに向けて放射線を照射する放射線発生器を移動させる放射線発生器移動手段と、 前記第1直線および前記第2直線と平行であるとともに前記第1直線と前記第2直線との間に存在する移動平面上で検査対象を移動させる検査対象移動手段と、 前記ラインセンサによって取得された前記検査対象を透過した透過放射線に基づいて検査対象画像を生成する検査対象画像生成手段と、 を備える検査装置。

IPC (1)：

G01N 23/04 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 23/04 320