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J-GLOBAL ID：201603008518156634

粘着シートの貼付方法および貼付装置

Inventor：
神田 敏満

About 神田 敏満

, 
金子 智

About 金子 智


Applicant, Patent owner：
リンテック株式会社

About リンテック株式会社


Agent (3)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  五十嵐 光永
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014155294
Publication number (International publication number)：2016032079
Application date： Jul. 30, 2014
Publication date： Mar. 07, 2016
Summary：
【課題】被貼付部材と粘着シートとの間に空隙が発生するのを抑制する。【解決手段】弾性を有する板状の貼付部材3を開口部4Aが形成されたフレーム4で保持し、開口部4A内に位置する貼付部材3の貼付面3Aと間隔をあけて対向するように被貼付部材8を配置し、貼付面3Aと被貼付部材8との間に粘着面6Aを被貼付部材8側に向けて粘着シート6を配置し、貼付面3Aとは反対側に流体を供給して貼付部材3を開口部4Aから膨張させることにより、貼付面3Aを被貼付部材8に押し付けて粘着シート6を貼付するときに、膨張していない状態の貼付部材3の貼付面3Aと被貼付部材8との間隔h(×10-3m)と、開口部4Aに内接する円の直径D(×10-3m)と、流体の供給量Q(×10-3m3/s)とを、Q×(h/D)2≧0.75(×10-6m3/s)を満たすように制御する。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
弾性を有する板状の貼付部材を開口部が形成されたフレームにより保持するとともに、このフレームの前記開口部内に位置する前記貼付部材の貼付面と間隔をあけて対向するように被貼付部材を配置し、前記貼付面と前記被貼付部材との間に粘着面を前記被貼付部材側に向けて粘着シートを配置して、前記貼付部材の貼付面とは反対側に流体を供給して該貼付部材を前記開口部から前記被貼付部材側に膨張させることにより、前記貼付面を前記被貼付部材に押し付けて前記粘着シートを貼付する粘着シートの貼付方法であって、 膨張していない状態の前記貼付部材の貼付面と前記被貼付部材との間隔h(×10-3m)と、前記開口部に内接する円の直径D(×10-3m)と、前記流体の供給量Q(×10-3m3/s)とを、Q×(h/D)2≧0.75(×10-6m3/s)を満たすように制御することを特徴とする粘着シートの貼付方法。
IPC (1)：
H01L 21/683
FI (1)：
H01L21/68 N
F-Term (19)：
5F131AA02 ,  5F131BA53 ,  5F131CA09 ,  5F131CA12 ,  5F131DA14 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131EA07 ,  5F131EC32 ,  5F131EC34 ,  5F131EC53 ,  5F131EC63 ,  5F131EC65 ,  5F131EC66 ,  5F131JA12 ,  5F131JA13 ,  5F131JA34 ,  5F131KA25 ,  5F131KB46
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
  • シート貼付装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-329531   Applicant：リンテック株式会社
  • ウエハテーピング
    Gazette classification：公表公報   Application number：特願2011-540800   Applicant：フジフィルムディマティックス,インコーポレイテッド
  • 特開平2-087545
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