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J-GLOBAL ID：201603014699911811

エレクトレット素子、電気機械変換器およびエレクトレット素子の製造方法

Inventor： 藤田 博之 ,  橋口 原 ,  芦澤 久幸 ,  三屋 裕幸 ,  石橋 和徳
Applicant, Patent owner： 国立大学法人 東京大学 ,  株式会社鷺宮製作所
Agent (2)： 永井 冬紀 ,  関根 創史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015026839
Publication number (International publication number)：2016149914
Application date： Feb. 13, 2015
Publication date： Aug. 18, 2016
Summary：

【課題】寿命性能に優れたエレクトレットを備えるエレクトレット素子の提供。【解決手段】エレクトレット素子である基板200は、Si層202と、Si層202の表面に形成されたSiO2層201と、Si02層201におけるSi層202との界面204の近傍に形成されたエレクトレットと、を備える。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

Si層と、 前記Si層の表面に形成されたSiO2層と、 前記SiO2層における前記Si層との界面の近傍に形成されたエレクトレットと、を備えるエレクトレット素子。

IPC (1)：

H02N 1/00

FI (1)：

H02N1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特許第5627130号
  
• マイクロアクチュエータ装置及びこれを用いた光スイッチシステム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-283473   Applicant：エヌティティエレクトロニクス株式会社, 株式会社ニコン
• エレクトレット膜およびこれを用いた振動発電素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-144605   Applicant：アオイ電子株式会社