Pat

J-GLOBAL ID：201603020079913059

物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法

Inventor： 高橋 一浩 ,  澤田 和明 ,  大山 泰生
Applicant, Patent owner： 国立大学法人豊橋技術科学大学
Agent (3)： 井川 浩文 ,  森岡 正往 ,  特許業務法人SANSUI国際特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013536451
Patent number：5988055
Application date： Sep. 28, 2012
Claim (excerpt)：

【請求項1】 受光素子の受光面の表面に、中空部を形成しつつ該受光面に対向して設けられた膜部を備え、 前記膜部は、光透過性および可撓性を有し、前記受光面の表面とでファブリペロー共振器を形成するとともに、少なくとも外側表面に物質固定能を有している膜部であることを特徴とする物理・化学センサ。

IPC (2)：

G01N 21/27 ( 200 6.01) ,  G01N 21/59 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 21/27 Z ,  G01N 21/59 D

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• ファブリペローフィルタ及び赤外線ガス分析計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-041287   Applicant：横河電機株式会社
• 多波長フィルタアレイ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-210326   Applicant：ティーディーケイ株式会社
• ファブリペロー干渉計およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-051720   Applicant：株式会社デンソー
• 静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置並びに静電デバイスの各製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-308024   Applicant：セイコーエプソン株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• A white-light source operated polymer-based micromachined Fabry-Perot chemo/biosensor