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J-GLOBAL ID：201603020079913059

物理・化学センサおよび物理・化学現象センシングデバイスならびにこれらの製造方法

Inventor： 高橋 一浩 ,  澤田 和明 ,  大山 泰生
Applicant, Patent owner： 国立大学法人豊橋技術科学大学
Agent (3)： 井川 浩文 ,  森岡 正往 ,  特許業務法人SANSUI国際特許事務所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013536451
Patent number：5988055
Application date： Sep. 28, 2012
Claim (excerpt)：

【請求項1】 受光素子の受光面の表面に、中空部を形成しつつ該受光面に対向して設けられた膜部を備え、 前記膜部は、光透過性および可撓性を有し、前記受光面の表面とでファブリペロー共振器を形成するとともに、少なくとも外側表面に物質固定能を有している膜部であることを特徴とする物理・化学センサ。

IPC (2)：

G01N 21/27 ( 200 6.01) ,  G01N 21/59 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01N 21/27 Z ,  G01N 21/59 D