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J-GLOBAL ID：201603020706024460

二次モアレ縞による顕微鏡走査ゆがみの影響を受けない変形測定方法

Inventor：
王 慶華

About 王 慶華

, 
李 志遠

About 李 志遠

, 
津田 浩

About 津田 浩


Applicant, Patent owner：
国立研究開発法人産業技術総合研究所

About 国立研究開発法人産業技術総合研究所


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015021532
Publication number (International publication number)：2016142726
Application date： Feb. 05, 2015
Publication date： Aug. 08, 2016
Summary：
【課題】走査型顕微鏡の走査線のゆがみはモアレ縞のゆがみを引き起こすことからモアレを利用した変形計測に誤差をもたらす。ゆがみを除去するために位相シフト法では、格子そのものを撮影する必要があるため解析範囲が狭くなる。装置そのものをシフトして位相シフトするとその装置が必要で高価になる。【解決手段】試料の変形前後に撮影した2枚の画像を合成し走査モアレ縞を重ねることで走査ゆがみの影響を除去して試料の変形を測定し得る二次モアレ縞(Secondary Moire)を利用する手法を開発した。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
走査型顕微鏡を用いて撮像したモアレ縞画像に基づく変形計測方法であって、 その表面に計測仕様に基づく規則格子を備えた試料を準備して、 変形前の該試料の規則格子のピッチまたはその整数倍またはその数分の1に近い計測仕様に合わせた走査ピッチで走査して撮像したモアレ縞画像と、 負荷を与えて変形後の該試料を該走査ピッチで走査して撮像したモアレ縞画像を、 重ね合わせて得た合成画像に現われた二次モアレ縞により、該顕微鏡の走査ひずみを除去して、該負荷による変形を計測することを特徴とするモアレ縞画像に基づく変形計測方法。
IPC (3)：
G01B 11/16 ,  G01B 15/06 ,  G01B 21/32
FI (3)：
G01B11/16 H ,  G01B15/06 ,  G01B21/32
F-Term (40)：
2F065AA65 ,  2F065BB01 ,  2F065BB05 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065DD08 ,  2F065EE08 ,  2F065FF06 ,  2F065GG04 ,  2F065MM16 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR09 ,  2F067AA65 ,  2F067BB01 ,  2F067BB27 ,  2F067CC08 ,  2F067DD09 ,  2F067EE06 ,  2F067FF02 ,  2F067FF14 ,  2F067HH13 ,  2F067RR26 ,  2F067RR30 ,  2F067RR35 ,  2F069AA68 ,  2F069CC06 ,  2F069DD02 ,  2F069DD20 ,  2F069EE23 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG08 ,  2F069GG39 ,  2F069GG62 ,  2F069GG74 ,  2F069JJ07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1) Cited by examiner (1)

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