- 2017/01 - 日本学術振興会 プラズマ材料科学賞(基礎部門賞)
- 2014/09 - 応用物理学会 フェロー表彰
- 2013/01 - Nanointerface Innovative Award (新学術プラズマナノ界面)
- 2008/06 - フォトポリマー懇話会 Photopolymer Science & Technology Award
- 2008/03 - 応用物理学会 第6回 プラズマエレクトロニクス賞
- 2008/01 - The Conference of Photopolymer Science and Technology The Photopolymer Science and Technology Award
- 2008/01 - 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス賞
- 2005/06 - JSPS Plasma materials Science prize Micro/Nano Plasma Science
- 1999/08 - IUPAC ISPC14 Plasma Chemistry Prize (ISPC14, IUPAC, 1999) Application of microplasma to materials processing
- 1991/11 - 日本金属学会 日本金属学会奨励賞
- 1989/05 - 本多記念会 本多記念研究奨励賞
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