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J-GLOBAL ID：201702212728210070   Reference number：17A1140175

TOF-ERDAでの酸素の検出感度評価

Author (6)： KAJITORI YUTA (京都府大 生命環境) ,  OISHI MOMOMI (京都府大 生命環境) ,  YASUDA KEISUKE (京都府大 生命環境) ,  HARUYAMA YOICHI (京都府大 生命環境) ,  NAKATA YOSHINORI (若狭湾エネ研セ) ,  SUZUKI KOTAKU (若狭湾エネ研セ)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 78th  Page： ROMBUNNO.6p-S41-5  Publication year： Aug. 25, 2017 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *oxygen ,  detection limit ,  high sensitivity ,  *TOF ,  gas analysis ,  ion beam ,  *elemental analysis ,  recoil particle ,  time measurement ,  spectrum ,  silicon ,  ion implantation
Semi thesaurus term： detectivity ,  time of flight spectrum

JST classification (1)： Physical analysis of elements in inorganic substances  (CC03022H)

Terms in the title (4)： TOF ,  酸素 ,  検出感度 ,  評価