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J-GLOBAL ID：201702217890029779   Reference number：17A0193523

Large-scale vortical structure detection using microphone array in a semiconductor single wafer spin cleaner

マイクロフォンアレイを用いた枚葉式半導体洗浄装置内に形成される大規模渦構造の検出

Author (5)： KOUCHI TOSHINORI (岡山大 大学院自然科学研究科) ,  MIYOSHI YUKI (岡山大 大学院自然科学研究科) ,  NAKANO YUSUKE (岡山大 大学院自然科学研究科) ,  NAGATA YASUNORI (岡山大 大学院自然科学研究科) ,  YANASE SHIN'ICHIRO (岡山大 大学院自然科学研究科)
Material： 日本機械学会論文集(Web)  (Bulletin of the JSME (Web))
Volume： 83  Issue： 845  Page： ROMBUNNO.16-00441(J-STAGE)  Publication year： 2017 
JST Material Number： U0182B  ISSN： 2187-9761  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *acoustic array ,  method ,  vortex ,  *flow structure ,  *cleaning(washing) ,  velocity ,  correlation ,  Fourier transformation ,  rotating disc ,  pressure fluctuation ,  semiconductor process
Semi thesaurus term： *silicon wafer cleaning ,  *microphone array ,  advection velocity ,  *vortex structure ,  cross correlation ,  large-scale vortex ,  sheetfed type

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： マイクロフォンアレイ ,  枚葉式 ,  洗浄装置 ,  大規模渦