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J-GLOBAL ID：201702220453897243   Reference number：17A0548188

ラマン分光法によるMoS₂原子層薄膜の酸化過程

Author (5)： MINAMINO TATSUYA (和大 教育) ,  KISODA KENJI (和大 教育) ,  ITO CHIHIRO (和大) ,  KAMOI SUSUMU (京都府中小企業技セ) ,  HASUIKE NORIYUKI (京都工繊大)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 64th  Page： ROMBUNNO.14p-P4-70  Publication year： Mar. 01, 2017 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Raman spectroscopy ,  *molybdenum sulfide ,  layer ,  *thin film ,  *oxidation ,  laser irradiation ,  thermal effect ,  heat treatment ,  oscillation mode ,  microscopic Raman spectroscopy ,  cleavage(crystal)
Semi thesaurus term： *molybdenum disulfide ,  atomic layer ,  thermal effect ,  heat treatment

JST classification (3)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Heating  (PA03040C) ,  Infrared and Raman spectra of inorganic molecules  (BH06032B)

Terms in the title (6)： ラマン分光法 ,  MoS2 ,  原子層 ,  薄膜 ,  酸化 ,  過程