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J-GLOBAL ID：201702220927220110   Reference number：17A1557606

A fully-implicit Particle-In-Cell Monte Carlo Collision code for the simulation of inductively coupled plasmas

誘導結合プラズマのシミュレーションのための完全陰的パーティクル-イン-セルモンテカルロ衝突コード【Powered by NICT】

Author (7)： Mattei S. (CERN, CH-1211 Geneva 23, Switzerland) ,  Mattei S. (Swiss Plasma Center, EPFL, Station 13, CH-1015 Lausanne, Switzerland) ,  Nishida K. (Faculty of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan) ,  Onai M. (Faculty of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan) ,  Lettry J. (CERN, CH-1211 Geneva 23, Switzerland) ,  Tran M.Q. (Swiss Plasma Center, EPFL, Station 13, CH-1015 Lausanne, Switzerland) ,  Hatayama A. (Faculty of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku, Yokohama 223-8522, Japan)
Material： Journal of Computational Physics  (J Comput Phys)
Volume： 350  Page： 891-906  Publication year： 2017 
JST Material Number： B0860A  ISSN： 0021-9991  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： We present a fully-implicit el...

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Thesaurus term： *plasma ,  emission spectroscopy ,  plasma density ,  Debye length ,  electromagnetic field ,  *inductively coupled plasma ,  interaction ,  *Monte Carlo Method ,  ion source ,  *simulation ,  rate theory ,  algorithm ,  plasma discharge ,  electron energy distribution function ,  length ,  geometric quantity
Semi thesaurus term： EEDF ,  RFコイル , 【Automatic Indexing@JST】

Author keywords (4)： Particle-In-Cell ,  Monte Carlo collision ,  Implicit ,  Inductively coupled plasmas

JST classification (2)： Numerical computation  (JE02000J) ,  Plasma in general  (BJ02010B)

Terms in the title (6)： 誘導結合プラズマ ,  シミュレーション ,  パーティクル ,  セル ,  モンテカルロ ,  衝突