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J-GLOBAL ID：201702221411228463   Reference number：17A0189952

Development of a Lloyd’s mirror interferometer for fabrication of gratings

格子製作用のLloydの鏡干渉計の開発

Author (5)： REN Zongwei (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  AIHARA Ryo (Tohoku Univ.) ,  SHIMIZU Yuki (Tohoku Univ.) ,  ITO So (Tohoku Univ.) ,  GAO Wei (Tohoku Univ.)
Material： Proceedings of the International Conference on Positioning Technology (CD-ROM)  (International Conference on Positioning Technology (CD-ROM))
Volume： 7th  Page： ROMBUNNO.A3-3  Publication year： 2016 
JST Material Number： W1407B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Other (ZZZ)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *interferometer ,  lithography ,  *grid structure ,  *positioning ,  mirror ,  orthogonality ,  interference lithography ,  *precise positioning

JST classification (1)： Interferometry and interferometers  (BD07070G)

Terms in the title (5)： 格子 ,  製作 ,  鏡 ,  干渉計 ,  開発