Art

J-GLOBAL ID：201702225221290091   Reference number：17A0579463

Shape Control of Floating Si Wires Fabricated by Anodization

陽極酸化処理によって作製されたフローティングシリコンワイヤの形状制御

Author (6)： MOTOHASHI Mitsuya (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  IMAIZUMI Takuya (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  TAGUCHI Takatoshi (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  SUZUKI Toshiaki (JEOL, Tokyo, JPN) ,  YOSHINO Takayuki (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN) ,  NIWA Masaaki (Tokyo Denki Univ., Tokyo, JPN)
Material： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
Volume： 54  Issue： 2  Page： 65-69  Publication year： Apr. 20, 2017 
JST Material Number： G0788A  ISSN： 1347-4774  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *anodizing ,  *shape control ,  crystallinity ,  crystal orientation ,  porosity(property) ,  transport phenomenon ,  *nanowire ,  groove ,  contouring control ,  etching
Semi thesaurus term： carrier transport ,  Silicon(111) ,  Silicon(100) ,  *silicon nanowire ,  crystallinity ,  porosity ,  dislocation etching

JST classification (4)： Conversion treatment  (WC08050J) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Lattice defects in other inorganic compounds  (BK12050B)

Reference (18)：

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Terms in the title (3)： 陽極酸化処理 ,  作製 ,  形状制御