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J-GLOBAL ID：201702227882940261   Reference number：17A0520818

電鋳法による高精度表面転写プロセスの開発

Author (1)： MIMURA HIDEKAZU (東大 大学院工学系研究科)
Material： 電気加工学会誌  (Journal of the Japan Society of Electrical Machining Engineers)
Volume： 51  Issue： 126  Page： 147-151  Publication year： Mar. 31, 2017 
JST Material Number： F0520B  ISSN： 0387-754X  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *electroforming ,  *plating ,  optical element ,  *decompression ,  buoyancy ,  roundness ,  measuring instrument ,  *transcription ,  die making ,  *high accuracy ,  *surface profile ,  deformation analysis ,  *film deposition
Semi thesaurus term： bubble generation ,  Optical device fabrication ,  *film formation

JST classification (1)： Electroforming  (WC08040Y)

Terms in the title (3)： 電鋳法 ,  転写プロセス ,  開発