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J-GLOBAL ID：201702233782903608   Reference number：17A1085042

High-aspect ratio laser drilling of glass assisted by supercritical carbon dioxide

超臨界二酸化炭素により支援されたガラスの高アスペクト比レーザ穴あけ

Author (1)： YOSHIKI Keisuke (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 10092  Page： 100921K.1-100921K.6  Publication year： 2017 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *laser beam drilling ,  supercritical carbon dioxide ,  *laser application ,  Glass ,  aspect ratio ,  transparent material ,  femtosecond laser ,  laser ablation ,  through hole ,  high aspect ratio
Semi thesaurus term： femtosecond pulse laser

JST classification (2)： Other cutting  (QC02040C) ,  Applications of lasers  (BD04100V)

Terms in the title (5)： 超臨界二酸化炭素 ,  支援 ,  ガラス ,  高アスペクト比 ,  レーザ穴あけ