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J-GLOBAL ID：201702233802722078   Reference number：17A1406914

Confocal laser displacement sensor using a micro-machined varifocal mirror

マイクロ加工された可変焦点反射鏡を用いた共焦点レーザ変位センサ

Author (7)： NAKAZAWA Kenta (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SASAKI Takashi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  FURUTA Hiromasa (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  KAMIYA Jiro (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  SASAKI Hideki (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  KAMIYA Toshikazu (Panasonic Industrial Devices SUNX Co., Ltd, Kasugai, JPN) ,  HANE Kazuhiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
Material： Applied Optics  (Lasers, Photonics, and Environmental Optics)
Volume： 56  Issue： 24  Page： 6911-6916  Publication year： Aug. 20, 2017 
JST Material Number： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： focal point ,  variability ,  micromachining ,  *optical sensor ,  *reflecting mirror ,  *displacement measurement ,  silicon ,  single crystal ,  focal length ,  linearity ,  Miniaturization ,  *laser sensor ,  variable focus ,  confocal ,  monocrystal silicon ,  *displacement sensor ,  modification

JST classification (2)： Other optical devices  (BD06060O) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Terms in the title (6)： マイクロ加工 ,  可変焦点 ,  反射鏡 ,  共焦点 ,  レーザ ,  変位センサ