Art

J-GLOBAL ID：201702234479692062   Reference number：17A0190480

Electron collision cross sections of C₂F₄ gas

C₂F₄ガスの電子衝突断面積

Author (4)： KAWAGUCHI Satoru (Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  TAKAHASHI Kazuhiro (Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  SATOH Kohki (Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN) ,  ITOH Hidenori (Muroran Inst. of Technol., Hokkaido, JPN)
Material： プラズマプロセシング研究会プロシーディングス(CD-ROM)  (プラズマプロセシング研究会(CD-ROM))
Volume： 34th  Page： ROMBUNNO.16aB3  Publication year： Jan. 16, 2017 
JST Material Number： L4449B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *cross section (area) ,  electric discharge ,  transport coefficient ,  ionization ,  *molecule-electron collision ,  electron swarm ,  plasma ,  *ionization coefficient ,  *Electron Collision Cross Sections ,  discharge plasma ,  aliphatic fluorine compound ,  olefin compound

JST classification (1)： Electron scattering by molecules  (BH07030A)

Substance index (1)： Tetrafluoroethylene

Terms in the title (1)： 電子衝突断面積