Art

J-GLOBAL ID：201702236435695989   Reference number：17A1802545

Fabrication of freestanding heteroepitaxial diamond substrate via micropatterns and microneedles

マイクロパターンとマイクロニードルを介した自立ヘテロエピタキシャル・ダイヤモンド基板の作成

Author (8)： AIDA Hideo (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  AIDA Hideo (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  KIM Seong-Woo (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  IKEJIRI Kenjiro (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  KAWAMATA Yuki (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  KOYAMA Koji (Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN) ,  KODAMA Hideyuki (Aoyama Gakuin Univ., Sagamihara, JPN) ,  SAWABE Atsuhito (Aoyama Gakuin Univ., Sagamihara, JPN)
Material： Applied Physics Express  (APEX)
Volume： 9  Issue： 3  Page： 035504.1-035504.4  Publication year： Mar. 2016 
JST Material Number： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： needle ,  membrane and film ,  heteroepitaxy ,  *Diamond ,  *material ,  epitaxy ,  dislocation(crystal) ,  Raman spectroscopy ,  rocking curve ,  *crystal growth ,  micro pattern ,  free standing film ,  lateral growth ,  *ore ,  *precious stone ,  lattice defect
Semi thesaurus term： microneedle ,  *circuit material ,  epitaxial growth ,  X-ray rocking curve

JST classification (1)： Crystal growth of semiconductors  (BK13040X)

Reference (24)：

• F. P. Bundy, W. A. Bassett, M. S. Weathers, R. J. Hemley, H. U. Mao, and A. F. Goncharov, Carbon 34, 141 (1996).
• H. Sumiya, N. Toda, Y. Nishibayashi, and S. Satoh, J. Cryst. Growth 178, 485 (1997).
• H. Sumiya and K. Tamasaku, Jpn. J. Appl. Phys. 51, 090102 (2012).
• G. Janssen and L. J. Giling, Diamond Relat. Mater. 4, 1025 (1995).
• H. Yamada, A. Chayahara, H. Umezawa, N. Tsubouchi, Y. Mokuno, and S. Shikata, Diamond Relat. Mater. 24, 29 (2012).

Terms in the title (3)： マイクロパターン ,  マイクロニードル ,  自立