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J-GLOBAL ID：201702237643692266   Reference number：17A1139608

ナノビームX線回折法による周期溝加工基板上AlN厚膜の結晶深さ方向構造解析

Author (9)： SHIDA KAZUMI (大阪大 大学院) ,  TAKEUCHI SHOTARO (大阪大 大学院) ,  MIYAKE HIDETO (三重大) ,  MIYAKE HIDETO (三重大 大学院) ,  HIRAMATSU KAZUMASA (三重大 大学院) ,  SUMITANI KAZUSHI (JASRI) ,  IMAI YASUHIKO (JASRI) ,  KIMURA SHIGERU (JASRI) ,  SAKAI AKIRA (大阪大 大学院)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 78th  Page： ROMBUNNO.6p-A301-8  Publication year： Aug. 25, 2017 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： X-ray diffraction ,  beam ,  grooving(machining) ,  periodic structure ,  *aluminum nitride ,  semiconductor material ,  crystallinity ,  *structure analysis ,  *thick film ,  compound semiconductor ,  crystal structure
Semi thesaurus term： X-ray nano beam

JST classification (1)： Crystal structure of other inorganic compounds  (BK07030J)

Terms in the title (9)： ナノビーム ,  X線回折法 ,  周期 ,  溝加工 ,  AlN ,  厚膜 ,  結晶 ,  深さ方向 ,  構造解析