Art

J-GLOBAL ID：201702239569453725   Reference number：17A1192555

Nano-meter Accuracy Positioning and its Control Method of Micro Motion Stage Driven by Pneumatic Bellows

空気圧ベローズにより駆動する微動ステージの制御方法とナノ位置決め

Author (4)： FUJITA TOSHINORI (東京電機大) ,  SAKAKI KAZUTOSHI (住友重機械工業) ,  MIYAZAKI SATOMI (東京電機大 大学院) ,  MIYAZAKI KEIICHI (東京電機大 大学院)
Material： 日本フルードパワーシステム学会論文集  (Transactions of the Japan Fluid Power System Society)
Volume： 48  Issue： 5  Page： 33-38  Publication year： Sep. 2017 
JST Material Number： L3342A  ISSN： 1880-3121  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *positioning device ,  *microactuator ,  *tremor ,  *bellows ,  *drive ,  *accuracy
Semi thesaurus term： *pneumatic drive ,  *positioning accuracy

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (5)：

• 大塚:ナノテクノロジーと超精密位置決め技術,工業調査会(2005)
• Z. Zhu, B and Zhang : A linear piezomotor integrated by a monolithic flexual frame, IEEE/ASME Tans Mech des, p. 119, 414-417 (1997)
• Y. Liu, R. Fung and C. Wang : Precision position control using combined piezo-VCM actuators, Precision Engineering 29, 411-422 (2005)
• 岡田,安藤:SUS204金属ベローズの結晶粒径と疲労強度の関係,ばね論文集,2003-48,p.1-6(2003)
• T. Fujita, K. Sakaki, Y. Takagi, K. Kawashima, T. Kagawa : Obama, B., Bush, G.W. : Ultra Precise Positioning of a Stage Driven by Pneumatic Bellows, Int. J. of Automation Technology, 5-4, p. 508-515 (2011)

Terms in the title (5)： 空気圧 ,  ベローズ ,  微動 ,  ステージ ,  ナノ位置決め