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J-GLOBAL ID：201702239735286332   Reference number：17A0576697

カーボンナノチューブ複合ダイヤモンド電着ワイヤーによる単結晶シリコンの切断性状

Author (2)： MURAOKA JUN'ICHI (山形県工技セ) ,  SUZUKI TSUNEHISA (山形県工技セ)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2017  Issue： 春季(CD-ROM)  Page： ROMBUNNO.F62  Publication year： Mar. 01, 2017 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *carbon nanotube ,  *Diamond ,  *electrodeposition ,  *single crystal ,  *silicon ,  *abrasive grain ,  *force ,  *surface quality ,  monocrystal silicon ,  holding force ,  surface integrity ,  *ore ,  *precious stone
Semi thesaurus term： surface integrity

JST classification (2)： Grinding and abrasion materials  (YC06020Q) ,  General  (NC03161C)

Reference (3)：

• Tsunehisa SUZUKI et al., Precision Engineering, Vol. 38, (2014) pp. 659-665.
• Tsunehisa SUZUKI et al., Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering, Vol. 5, No. 8, (2011) pp. 386-396.
• 村岡潤一他,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2016) pp. 625-626.

Terms in the title (6)： カーボンナノチューブ ,  ダイヤモンド ,  電着 ,  ワイヤー ,  単結晶シリコン ,  切断性