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J-GLOBAL ID：201702248383453264   Reference number：17A1940056

Strain induced by functional oxides for silicon photonics applications

Author (13)： MARCAUD Guillaume (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  MATZEN Sylvia (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  ALONSO-RAMOS Carlos (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  LE ROUX Xavier (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  BERCIANO Mathias (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  DAMAS Pedro (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  MAROUTIAN Thomas (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  AGNUS Guillaume (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  LARGEAU Ludovic (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  CASSAN Eric (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  MARRIS-MORINI Delphine (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  LECOEUR Philippe (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA) ,  VIVIEN Laurent (Centre de Nanosciences et Nanotechnologies-C2N, Univ. Paris-Sud, Univ. Paris Saclay, Orsay, FRA)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 10242  Page： 102420N.1-102420N.6  Publication year： 2017 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)