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J-GLOBAL ID：201702255195053142   Reference number：17A0397745

Evaluation and Prediction of Mechanical Properties of DLC Films by Raman Spectroscopy (Part 2)-DLC Films Prepared by Bipolar PBII&D with Various Source Gases-

ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測(第2報)-種々の原料ガスを用いてバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜-

Author (5)： CHOI Junho (東大 大学院) ,  HIBI TAKAYUKI (東大 大学院) ,  FURUNO AKIHISA (東大 大学院) ,  KAWAGUCHI MASAHIRO (東京都産業技術研究セ) ,  KATO TAKAHISA (東大 大学院)
Material： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
Volume： 62  Issue： 3  Page： 228-235  Publication year： Mar. 15, 2017 
JST Material Number： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,  *mechanical property ,  *ion implantation ,  *constitution ,  *plasma ,  *Raman spectroscopy
Semi thesaurus term： *film formation

JST classification (1)： Lubrication in general  (QB02010S)

Terms in the title (7)： ラマン分光法 ,  DLC膜 ,  機械特性 ,  評価 ,  予測 ,  原料ガス ,  バイポーラ