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J-GLOBAL ID：201702256338942589   Reference number：17A0040393

メゾスコピック領域研究の産業への展開 メゾスコピック系フローティングSiワイヤーの作製

Author (1)： MOTOHASHI MITSUYA (東京電機大 工)
Material： 月刊ファインケミカル  (ファインケミカル)
Volume： 46  Issue： 1  Page： 6-13  Publication year： Jan. 15, 2017 
JST Material Number： Y0020A  ISSN： 0913-6150  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： wafer ,  index number ,  *silicon ,  marking off ,  groove ,  dislocation(crystal) ,  *fine line ,  anodic oxidation ,  tungsten carbide ,  quantum wire ,  crystal plane index ,  Si wafer ,  lattice defect
Semi thesaurus term： silicon wafer ,  *ケイ素ワイヤ ,  フローティングワイヤ

JST classification (2)： Inorganic compounds and elements in general  (CD01010D) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： 研究 ,  産業 ,  展開 ,  メゾスコピック系 ,  Si ,  ワイヤー ,  作製