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J-GLOBAL ID：201702263852166099   Reference number：17A0154415

Nd:YAGレーザーの第4次高調波を用いたPLD法によるSrTiO₃薄膜の格子定数とアニール効果

Author (5)： FUJIWARA TAKUMI (旭川工高専) ,  ONODERA TAKUMI (旭川工高専) ,  NAKAMURA MOTONORI (旭川工高専) ,  YOSHIMOTO KEN'ICHI (旭川工高専) ,  TAKAMURA KOJI (旭川工高専)
Material： 応用物理学会北海道支部/日本光学会北海道支部合同学術講演会講演予稿集  (応用物理学会北海道支部学術講演会・日本光学会北海道支部講演予稿集)
Volume： 52nd-13th  Page： 13  Publication year： Jan. 07, 2017 
JST Material Number： L5918A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *strontium titanate ,  *thin film growth ,  *pulsed laser deposition ,  *Nd-YAG laser ,  higher harmonic ,  crystal growth ,  chemical composition ,  substrate temperature ,  *annealing(heat treatment) ,  temperature dependence ,  X-ray diffraction ,  FWHM ,  Auger electron spectroscopy ,  *lattice constant
Semi thesaurus term： PLD(deposition) ,  第四次高調波 ,  annealing temperature

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Crystal structure of metal oxides and chalcogenides  (BK07020Y)

Terms in the title (7)： Nd ,  YAGレーザー ,  高調波 ,  PLD法 ,  薄膜 ,  格子定数 ,  アニール効果