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J-GLOBAL ID：201702268216807069   Reference number：17A0565722

フィールドエミッタアレイの新しい応用技術~耐熱・耐放射線素子や光源応用に向けて~

Author (1)： GOTO YASUHITO (京都大学大学院工学研究科)
Material： Journal of the Vacuum Society of Japan  (真空)
Volume： 60  Issue： 2  Page： 55-63(J-STAGE)  Publication year： 2017 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 1882-2398  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *array ,  *utilization ,  *radiation resistance (radiation effect) ,  *heat resistance ,  *field emission ,  power efficiency ,  high temperature ,  low temperature ,  *image sensor ,  *lighting and illumination ,  electron source ,  ion implantation
Semi thesaurus term： *field emitter array ,  image sensor ,  field electron emission

JST classification (1)： Electron and ion sources  (BD02020U)

Reference (48)：

• 1) C. A. Spindt, I. Brodie, L. Humphrey and E. L. Westerberg: J. Appl. Phys., 47 (1976) 5248.
• 2) M. Nagao: J. Vac. Soc. Jpn., 60 (2017) 47.
• 3) R. Meyer: Technical Digest of the 4^th Internatinal Vacuum Microelectronics Conference, Nagahama, Japan (1991) 6.
• 4) S. Itoh, M. Tanaka and T. Tonegawa: J. Vac. Sci. Technol. B, 22 (2004) 1362.
• 5) R. H. Fowler and L. Nordheim: Proc. Roy. Soc. London A, 119 (1928) 173.

Terms in the title (3)： フィールドエミッタアレイ ,  応用 ,  放射線