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J-GLOBAL ID：201702268265421866   Reference number：17A1087405

若手研究者の挑戦 第21回 ナノ精度コピーによる超高精度ミラーの量産化

Author (1)： MIMURA HIDEKAZU (東大)
Material： Optronics  (オプトロニクス)
Issue： 429  Page： 134-138  Publication year： Sep. 10, 2017 
JST Material Number： Y0019A  ISSN： 0286-9659  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *optical instrument ,  *measurement accuracy ,  *reflecting mirror ,  precision machining ,  *nanometer process ,  *electroforming ,  X-ray reflection ,  transcription ,  optical reflection ,  phase shift ,  extreme ultraviolet ,  soft X-ray ,  focusing (light) ,  surface roughness ,  spheroid ,  X-ray mirror ,  machining accuracy
Semi thesaurus term： machining accuracy ,  *超高精度 ,  EUV ,  集光ミラー ,  回転楕円ミラー

JST classification (3)： Refraction,reflection,dispersion,deflection,absorption,transmission  (BD03020B) ,  Other optical equipment  (QF05060C) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 研究 ,  コピー ,  ミラー ,  量産