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J-GLOBAL ID：201702268516315595   Reference number：17A1475044

Influence of Impurity Nitrogen Concentration on Fundamental Properties of RF-Driven Non-Equilibrium Atmospheric-Pressure Helium Plasmas

高周波駆動型非平衡大気圧Heプラズマ基礎特性に及ぼす不純物N₂濃度の影響

Author (2)： KOMORI KYOHEI (千葉工業大学 工学部 電気電子工学科) ,  ODA AKINORI (千葉工業大学 工学部 電気電子工学科)
Material： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
Volume： 137  Issue： 10  Page： 570-576(J-STAGE)  Publication year： 2017 
JST Material Number： S0808A  ISSN： 0385-4205  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plasma ,  *nonequilibrium state ,  *Helium ,  *numerical analysis ,  *simulation ,  *Nitrogen ,  *impurity concentration ,  *concentration dependence ,  glow discharge ,  modeling ,  equation ,  *computation model ,  current-voltage characteristic ,  current density ,  Penning ionization ,  *atmospheric plasma ,  *plasma production ,  helium plasma ,  Numerical Simulation ,  atmospheric pressure glow discharge ,  fluid model ,  low temperature atmospheric pressure plasma
Semi thesaurus term： atmospheric pressure non-equilibrium plasma ,  dominant equation ,  atmospheric pressure plasma

Author keywords (8)： 非平衡大気圧プラズマ ,  He ,  N₂ ,  シミュレーション ,  non-equilibrium atmospheric pressure plasma ,  helium ,  nitrogen ,  numerical simulation

JST classification (1)： Plasma production and heating  (BJ02060E)

Reference (20)：

• (1) U. Kogelschatz, B. Eliasson, and W. Egili : “Dielectric-Barrier Discharge. Principle and Applications”, J. Phys. IV (France), Vol. 7, C4-47 (1997)
• (2) U. Kogelschatz : “Dielectric-Barrier Diecharges: Their History, Discharge Physics, and Industrial Applications”, <i>Plasma Chem. & Plasma Process</i>, Vol. 23, Issue 1, pp. 1-46 (2003)
• (3) M. Yousfi, A. Bekstein, N. Merbahi, O. Eichwald, O. Ducasse, M. Benhenni, and J. P. Gardou : “Basic data for atmospheric pressure non-thermal plasma investigations in environmental and biomedical applications”, Plasma Sources Sci. Technol., Vol. 19. No. 3, 034044 (2010)
• (4) S. Kanazawa, M. Kogoma, T. Moriwaki, and S. Okazaki : “Stable glow plasma at atmospheric pressure”, J. Phys. D: Appl. Phys., Vol. 21, No. 5, pp. 838-840 (1988)
• (5) F. Massines, P. Segur, N. Gherardi, C. Khamphan, and A. Ricard : “Physics and Chemistry in a glow dielectric barrier discharge at atmospheric pressure: diagnostics and modeling”, Surf. Coat. Technol., Vol. 174-175, pp. 8-14 (2003)

Terms in the title (8)： 高周波駆動 ,  非平衡 ,  大気圧 ,  He ,  プラズマ ,  基礎 ,  不純物 ,  N2