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J-GLOBAL ID：201702269226429529   Reference number：17A0740326

非接触検査・計測技術の最新動向 位相シフト不要なワンショット形状計測 広視野レーザー走査型干渉計との組み合わせ

Author (2)： NITTA ISAMI (新潟大) ,  TSUKIYAMA YOSUKE (新潟大)
Material： 検査技術  (Inspection Engineering (Tokyo))
Volume： 22  Issue： 7  Page： 47-52  Publication year： Jul. 01, 2017 
JST Material Number： L3524A  ISSN： 1342-9825  CODEN： KGEIAS  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *metallic thin film ,  *laser interferometer ,  visual field ,  *optical microscope ,  depth ,  resolving power ,  shape measurement ,  3-D measurement ,  flat glass ,  interference fringe ,  image analysis
Semi thesaurus term： wide field ,  laser microscope ,  depth resolution ,  three-dimensional shape measurement ,  three-dimensional shape measurement ,  fringe analysis

JST classification (2)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Optical microscopes,telescopes  (QF05050R)

Terms in the title (12)： 非接触 ,  検査 ,  計測 ,  最新動向 ,  位相シフト ,  ショット ,  形状計測 ,  広視野 ,  レーザー ,  走査型 ,  干渉計 ,  組み合わせ