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J-GLOBAL ID：201702281906588592   Reference number：17A0416720

Testing and characterization of a MEMS micro-cantilever system

MEMSマイクロカンチレバーシステムの試験と特性化【Powered by NICT】

Author (3)： Said Kafumbe (Department of Electronic Engineering Technology, Higher Colleges of Technology, Abu Dhabi, UAE) ,  Alun Harris (School of Electrical, Electronics and Computer Engineering) ,  Jim Burdess (School of Mechanical Systems Engineering, Newcastle University, UK)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2016  Issue： MWSCAS  Page： 1-4  Publication year： 2016 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： The testing and characterizati...

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Thesaurus term： workstation ,  tuning ,  *characterization ,  resonance ,  experimental equipment ,  resonance frequency ,  piezoelectricity ,  *MEMS ,  cantilever beam ,  RF ,  dynamic test
Semi thesaurus term： 機能性 ,  静電駆動 ,  レーザ振動計 ,  プロファイラ , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (2)： Beams girders  (HD03020H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： MEMS ,  マイクロカンチレバー ,  試験 ,  特性化