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J-GLOBAL ID：201702285499061464   Reference number：17A1408835

Development of Semiconductor Sensor as a Use for Pulsed Electro-Acoustic Method

パルス静電応力法に用いる半導体センサの開発

Author (7)： SONODA Keita (Tokyo City Univ.) ,  SAITO Kosuke (Tokyo City Univ.) ,  MIYAKE Hiroaki (Tokyo City Univ.) ,  TANAKA Yasuhiro (Tokyo City Univ.) ,  SAWANO Kentarou (Tokyo City Univ.) ,  MARUIZUMI Takuya (Tokyo City Univ.) ,  KOSHIISHI Hideki (Japan Aerospace Exploration Agency)
Material： Proceedings of International Symposium on Electrical Insulating Materials (CD-ROM)  (Conference Proceedings of ISEIM (CD-ROM))
Volume： 2017 Vol.2  Issue： (冊子)  Page： 601-604  Publication year： 2017 
JST Material Number： L8409A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *electrical measurement ,  *nondestructive inspection ,  *sensor ,  *semiconductor device ,  *electric charge distribution ,  space charge ,  depletion layer ,  *pulsed electroacoustic method ,  *space charge distribution ,  *semiconductor sensor

JST classification (1)： Measuring methods and instruments of current,voltage,charge  (AD07020C)

Terms in the title (3)： パルス静電応力法 ,  半導体センサ ,  開発