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J-GLOBAL ID：201702287313927332   Reference number：17A0875734

矩形波変調プラズマ分子線散乱法による水素吸着過程の評価

Author (4)： SAIKI YU (名古屋工大) ,  KINEFUCHI IKUYA (東大) ,  FAN Yong (東大) ,  SUZUKI YUJI (東大)
Material： 日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM)
Volume： 54th  Page： ROMBUNNO.A131  Publication year： 2017 
JST Material Number： F0872D  ISSN： 1346-1532  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Adsorption ,  ultra high vacuum ,  plasma ,  radical ,  surface reaction ,  *wall effect ,  *combustor ,  molecular beam ,  measurement ,  Quartz ,  signal modulation ,  quenching (flame) ,  scattering measurement ,  hydrogen radical ,  *hydrogen adsorption ,  cold plasma
Semi thesaurus term： non-equilibrium plasma ,  molecular beam

JST classification (1)： Combution equipment in general  (PA03010V)

Terms in the title (8)： 矩形波 ,  変調 ,  プラズマ ,  分子線 ,  散乱 ,  水素吸着 ,  過程 ,  評価