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J-GLOBAL ID：201702287935899375   Reference number：17A0972400

Thermal Characterization of Dynamic Silicon Cantilever Array Sensors by Digital Holographic Microscopy

Author (7)： ZAKERIN Marjan (Max Planck Inst. for Polymer Res., Mainz, DEU) ,  NOVAK Antonin (Univ. du Maine, Le Mans, FRA) ,  TODA Masaya (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  EMERY Yves (Lyncee Tec SA, Lausanne, CHE) ,  NATALIO Filipe (Martin-Luther-Univ. Halle-Wittenberg, Halle (Saale), DEU) ,  BUTT Hans-Juergen (Max Planck Inst. for Polymer Res., Mainz, DEU) ,  BERGER Ruediger (Max Planck Inst. for Polymer Res., Mainz, DEU)
Material： Sensors (Web)
Volume： 17  Issue： 6  Page： WEB ONLY  Publication year： Jun. 2017 
JST Material Number： U7015A  ISSN： 1424-8220  CODEN： SENSC9  Document type： Article
Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)