Pat

J-GLOBAL ID：201703003511030673

相変化チャネルトランジスタ及びその駆動方法。

Inventor： 富永 淳二 ,  ポール フォンス ,  太田 裕之 ,  森田 行則 ,  右田 真司 ,  伊藤 正勝
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Agent (1)： 北野 好人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2017055572
Publication number (International publication number)：2017152708
Application date： Mar. 22, 2017
Publication date： Aug. 31, 2017
Summary：

【課題】高いチャネル移動度と高いオン/オフ比とを両立しうる相変化チャネルトランジスタ及びその駆動方法を提供する。【解決手段】電界の印加によりトポロジカル相転移が生じる相変化材料を含むチャネル層20と、チャネル層20に接続されたソース電極24及びドレイン電極26と、チャネル層20の第1の面上に形成された絶縁膜12と、絶縁膜12上に形成された第1のゲート電極(シリコン基板10)と、ソース電極24とドレイン電極26との間のチャネル層20の第2の面上に形成された第2のゲート電極22とを有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

バックゲート電極と、 前記バックゲート電極上に形成され、厚膜部と、前記厚膜部を挟むように配置された薄膜部と、前記厚膜部と前記薄膜部との境界部に配置された傾斜部とを有する絶縁膜と、 前記絶縁膜上に形成され、電界の印加によりトポロジカル相転移が生じる相変化材料を含むチャネル層と、 前記厚膜部上の前記チャネル層の上に形成されたゲート電極と、 前記チャネル層上の、前記厚膜部から前記薄膜部に至る領域に形成されたソース電極及びドレイン電極と を有することを特徴とする相変化チャネルトランジスタ。

IPC (15)：

H01L 29/66 ,  H01L 21/337 ,  H01L 29/812 ,  H01L 29/808 ,  H01L 21/338 ,  H01L 45/00 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/15 ,  H01L 29/06 ,  H01L 29/24

FI (9)：

H01L29/66 Z ,  H01L29/80 W ,  H01L45/00 A ,  H01L27/105 449 ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/50 M ,  H01L29/58 G ,  H01L29/06 601S ,  H01L29/24

F-Term (41)：

4M104AA03 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB30 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD24 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD42 ,  4M104DD64 ,  4M104DD65 ,  4M104DD94 ,  4M104FF02 ,  4M104FF06 ,  4M104FF26 ,  4M104FF31 ,  4M104GG09 ,  4M104GG16 ,  4M104HH20 ,  5F083FZ10 ,  5F083GA01 ,  5F083GA05 ,  5F083GA06 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083HA08 ,  5F083JA40 ,  5F083JA60 ,  5F083PR03 ,  5F083PR05 ,  5F083PR12 ,  5F083PR22 ,  5F102GB02 ,  5F102GC05 ,  5F102GD01 ,  5F102GD10 ,  5F102GJ03 ,  5F102GK10 ,  5F102GT06