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J-GLOBAL ID：201703003900843230

レーザ照射装置

Inventor： 豊澤 一晃 ,  黒柳 昭博 ,  藤田 和久 ,  沖原 伸一朗
Applicant, Patent owner： 株式会社トヨコー
Agent (2)： 稲田 弘明 ,  渡部 温
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2015069986
Publication number (International publication number)：WO2016009978
Application date： Jul. 13, 2015
Publication date： Jan. 21, 2016
Summary：

小型軽量な構造によって偏向光学系(33)を高速で駆動することができかつ光学系の発熱に対処可能なレーザ照射装置を提供する。レーザ発振器(10)が発生するレーザ光(B)を所定の焦点(FP)に集光させる集光光学系(32)と、集光光学系(32)から出たレーザ光(B)を所定の偏角だけ偏向させる偏向光学系(33)と、偏向光学系(33)を集光光学系(32)の光軸と実質的に平行に配置された回転軸周りに回転駆動する駆動手段(100)とを備えるレーザ照射装置(30)であって、駆動手段(100)は、気体供給源(60)から供給される気体が有するエネルギを回転力に変換するエアモータ(100)を有する。

Claim (excerpt)：

レーザ発振器が発生するレーザ光を所定の焦点に集光させる集光光学系と、 前記集光光学系から出たレーザ光を所定の偏角だけ偏向させる偏向光学系と、 前記偏向光学系を前記集光光学系の光軸と実質的に平行に配置された回転軸周りに回転駆動する駆動手段と を備えるレーザ照射装置であって、 前記駆動手段は、気体供給源から供給される気体が有するエネルギを回転力に変換するエアモータを有すること を特徴とするレーザ照射装置。

IPC (5)：

B23K 26/08 ,  B23K 26/142 ,  B23K 26/14 ,  B23K 26/16 ,  B23K 26/00

FI (6)：

B23K26/08 Z ,  B23K26/142 ,  B23K26/14 ,  B23K26/16 ,  B23K26/00 M ,  B23K26/00 Q

F-Term (21)：

4E168AD00 ,  4E168CA14 ,  4E168CB03 ,  4E168CB08 ,  4E168DA23 ,  4E168DA24 ,  4E168DA25 ,  4E168DA26 ,  4E168DA28 ,  4E168DA42 ,  4E168DA43 ,  4E168EA14 ,  4E168EA17 ,  4E168EA25 ,  4E168FB02 ,  4E168FB03 ,  4E168FB05 ,  4E168FC01 ,  4E168FC04 ,  4E168KA13 ,  4E168KA15