Pat

J-GLOBAL ID：201703004753867256

テラヘルツ波測定装置

Inventor： 白水 信弘 ,  三上 秀治 ,  渡辺 康一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (1)： 特許業務法人平木国際特許事務所
Gazette classification：再公表公報
Application number (International application number)：JP2015057487
Publication number (International publication number)：WO2016147253
Application date： Mar. 13, 2015
Publication date： Sep. 22, 2016
Summary：

感度向上と不要光の除去と位相差検出の手段を提供するテラヘルツ波測定装置であり、ポンプ光3を発生させるパルスレーザ光発生部1、シード光を発生させるシード光発生部2、ポンプ光とシード光とが入射されテラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生器5、テラヘルツ波発生器から発生され測定対象7と相互作用したテラヘルツ波とポンプ光とが入射されテラヘルツ波検出光9を発生するテラヘルツ波検出器8、テラヘルツ波検出光と当該テラヘルツ波検出光と同一波長の参照光14とを合波して互いに位相関係の異なる複数の干渉光12を生成する干渉光学系11、干渉光を検出する複数の光検出器13、複数の光検出器の出力を演算して測定対象と相互作用したテラヘルツ波の強度信号及び/又は位相信号を出力する信号処理部16を有する。

Claim (excerpt)：

ポンプ光を発生させるパルスレーザ光発生部と、 シード光を発生させるシード光発生部と、 前記ポンプ光と前記シード光とが入射され、テラヘルツ波を発生するテラヘルツ波発生器と、 前記テラヘルツ波発生器から発生され測定対象と相互作用したテラヘルツ波と前記ポンプ光とが入射され、テラヘルツ波検出光を発生するテラヘルツ波検出器と、 前記テラヘルツ波検出光と、当該テラヘルツ波検出光と同一波長の参照光とを合波して互いに位相関係の異なる複数の干渉光を生成する干渉光学系と、 前記干渉光を検出する複数の光検出器と、 前記複数の光検出器の出力を演算して前記測定対象と相互作用したテラヘルツ波の強度信号及び/又は位相信号を出力する信号処理部と、 を有するテラヘルツ波測定装置。

IPC (2)：

G01N 21/358 ,  G02F 1/39

FI (2)：

G01N21/3581 ,  G02F1/39

F-Term (42)：

2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE09 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG05 ,  2G059GG08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH05 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK03 ,  2G059LL01 ,  2G059LL02 ,  2G059MM01 ,  2G059MM09 ,  2G059MM18 ,  2G059NN01 ,  2G059NN02 ,  2G059NN05 ,  2G059NN06 ,  2G059NN10 ,  2G059PP01 ,  2K102AA06 ,  2K102AA36 ,  2K102BA18 ,  2K102BB02 ,  2K102BC01 ,  2K102BD09 ,  2K102DA01 ,  2K102DD05 ,  2K102EB14 ,  2K102EB20 ,  2K102EB29