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J-GLOBAL ID:201703009573217395
検査装置、検査システム、及び検査方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (4):
山田 卓二
, 田中 光雄
, 川端 純市
, 竹内 寛
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2016197474
Publication number (International publication number):2017070281
Patent number:6171124
Application date: Oct. 05, 2016
Publication date: Apr. 13, 2017
Claim (excerpt):
【請求項1】 試料液中に含まれる誘電体粒子の量を検査する検査システムであって、
少なくとも一対の電極と前記一対の電極上に所定方向に延在する流路とを有し、前記一対の電極の間で前記所定方向に複数のスリットが並んだ誘電体捕集部と、
前記流路を前記所定方向に進むように、前記試料液を送液するポンプ部と、
前記送液される試料液中の誘電体粒子が誘電泳動を起こすように、所定周波数の交流電圧を前記一対の電極に供給する交流電圧供給部と、
前記誘電体捕集部において前記複数のスリットが並んだ所定領域を撮像する撮像部と、
前記撮像部によって撮像された画像を解析して、前記誘電体粒子が飽和したスリットを計数する画像解析部と
を備えた検査システム。
IPC (6):
C12M 1/34 ( 200 6.01)
, C12M 1/42 ( 200 6.01)
, C12Q 1/06 ( 200 6.01)
, G01N 21/64 ( 200 6.01)
, G01N 21/17 ( 200 6.01)
, G01N 15/00 ( 200 6.01)
FI (8):
C12M 1/34 B
, C12M 1/34 D
, C12M 1/42
, C12Q 1/06
, G01N 21/64 F
, G01N 21/17 A
, G01N 15/00 A
, G01N 15/00 B
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